"潔凈室(Clean Room),亦稱凈化車間、凈化室或清凈室。它是污染控制的基礎(chǔ)。沒有凈化室,污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在 FED-STD-2里面,凈化室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間,其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而可達適當?shù)奈⒘崈舳?。凈化室是指將部分空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予設(shè)計之房間。 "