1、潔凈室中的溫濕度控制    潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到 人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。        具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越細(xì)致，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。        直徑硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，對產(chǎn)品將有污染，很是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜過25度。        濕度高而產(chǎn)生的問題更多。相對濕度過55%時(shí)，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在*密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面*難清除。        相對濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對濕度低于30%時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)適合的溫度范圍為35—45%。   2、潔凈室中的氣壓規(guī)定   對于大部分潔凈空間，為了外界污染侵入，需要保持內(nèi)部的壓力（靜壓）高于外部的壓力（靜壓）。壓力差的維持一般應(yīng)適合以下原則：       1．潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。       2.潔凈度*高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度*低的空間的壓力。       3.相通潔凈室之間的門要開向潔凈度*高的房間。       壓力差的維持依靠新風(fēng)量，這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄（或滲透）風(fēng)量通過潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。